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【SuPro】离子溅射仪/喷金仪 ISC150

核心参数

  • 溅射气体空气
  • 样品台尺寸>φ100mm
  • 控制方式自动
  • 样品仓尺寸φ150*110mm
  • 靶材尺寸φ50*0.1-2mm
  • 靶材材质Ar, Pt等
  • 仪器种类 国产离子溅射仪

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  • 营业执照已审核
  • 品牌性质生产商
  • 铜牌会员第1年
  • 信用积分710
  • 反馈速度10-12小时
  • 同类仪器4台
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进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的5*10-1Pa的真空压强,通常抽真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源,确保恒定沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率SEM扫描电镜样品的喷金用途。触摸屏控制,即插即用。

上市时间:2018年3月

产品介绍

进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的<1 Pa的真空压强,通常抽真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源,确保恒定沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率SEM 扫描电镜样品的喷金用途。触摸屏控制,即插即用。 


解决方案

  • 综合

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